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真空蒸鍍加工的基本過程及其裝置的構成
發布者:豪鑫真空蒸鍍加工  點擊:564

真空電鍍加工是一種表現處理工藝,真空蒸鍍加工也是,而且兩者聽起來是十分相似的,但實際上還是有差別的。從真空蒸鍍加工的基本過程及其裝置的構成就可以顯而易見了。

 

所謂真空蒸鍍加工,就是在充氣閥和高真空閥等閥門全部都關閉的前提下,通過機械泵對鍾罩進行預抽氣;當壓強達到一定後再關閉低真空閥,打開高真空閥,通過擴散泵和機械泵串聯對鍾罩進行抽氣;一旦鍾罩內的壓強達到所需要的數值後,就可以對蒸發源加熱進行蒸鍍。

 

完成之後需要關閉高真空閥,並通道充氣閥向鍾罩內放氣;然後打開鍾罩,取出真空蒸鍍加工好的基片或工件。隨後重新裝入膜料,更換待鍍基片或工件,放下鍾罩,再次進行蒸鍍。

 

平時真空蒸鍍加工所用的設備主要是由真空鍍膜室和抽真空係統兩大部分組成的,其中真空鍍膜室是用不鏽鋼或玻璃製成的鍾罩,以及蒸發電極、基片架、轟擊電極、測溫和烘烤電極、擋板轉動裝置、膜厚監控測量頭和一些輔助裝置等構成的。

 

而它的真空抽氣係統中則包括了擴散泵、手械泵、高真空閥、低真空閥、充氣閥及擋油板等部件,它們之間相互配合,共同完成相應的抽真空作業。真空蒸鍍加工中真空抽氣機組可使鍍膜室內的壓強達到較大的範圍,以防鍍膜室內高溫物體的燃燒和膜的氧化等。

 

通過真空蒸鍍加工後的工件,不僅表麵質量有了很大的改善,其內在性能以及使用壽命都有了明顯的提升,是非常理想的一種表現處理工藝。

 

 


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